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日本CANON ANELVA(熱陰極電離真空計)

更新時間:2025-03-19

簡要描述:

日本CANON ANELVA(熱陰極電離真空計)M-311HG型

這是傳感器真空計系列中的離子計。 離子真空計(熱陰極電離真空計)具有良好的重現(xiàn)性和線性性,能夠測量廣泛的壓力,使其成為真空計的出色特性。 該傳感器使用經(jīng)過驗證的微型儀表(MG-2I 型)。

型號:M-311HG型廠商性質(zhì):經(jīng)銷商瀏覽量:113

日本CANON ANELVA(熱陰極電離真空計)M-311HG型 
日本CANON ANELVA(熱陰極電離真空計)M-311HG型

    這是傳感器真空計系列中的離子計。 離子真空計(熱陰極電離真空計)具有良好的重現(xiàn)性和線性性,能夠測量廣泛的壓力,使其成為真空計的出色特性。 該傳感器使用經(jīng)過驗證的微型儀表(MG-2I 型)。

    1. 壓力測量范圍
      寬,可達 10-7 Pa ~ 10 Pa,在不犧牲超高真空側(cè)特性的情況下,可測量超出濺射工藝的低真空范圍

    2. 高響應模擬量輸出:
      帶壓力值的模擬量信號輸出可確保 100 毫秒內(nèi)的高響應,也可用于過程壓力控制

    3. 可以選擇
      四種發(fā)射電流設置模式以適應應用,例如在高壓區(qū)域使用時延長燈絲壽命 

    4. 型 名イオンゲージ
      M-311HG‐SP M-311HG‐RS
      圧力測定範囲1×10-7 ~ 10 Pa
      入力電圧DC20 ~ 28 V
      消費電力12 W
      アナログ出力0 ~ 10 V
      セットポイント2點リレー出力
      インターフェース RS485
      入出力コネクタ Dsub-9(Male)
      最大ケーブル長 200 m(1 mm2
      使用溫度範囲 5 ~ 50 ℃
      保存溫度範囲 -20 ~ 70 ℃
      センサ-型名ミニチュアB-Aゲージ(MG-2Iシリーズ)
      センサー材質(zhì)(主要部)フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
      外形寸法 (mm)110×70×50
      フランジ形狀NW16, NW25, ICF34, ICF70
      対応CEマーキング、RoHS、IP40

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